生产管控

汞探针CV

外延层掺杂浓度:汞探针CV

傅立叶变换红外光谱仪

外延层厚度:傅立叶变换红外光谱仪

自动表面缺陷分析系统

外延缺陷:自动表面缺陷分析系统

原子力显微镜

表面粗糙度:原子力显微镜

非接触式轮廓仪

晶片厚度及平整度等:非接触式轮廓仪